基于不规则U型结构的高灵敏度太赫兹微流传感器

作     者：李宗仁 邓琥 杨洁萍 刘泉澄 郭进 尚丽平 Li Zongren;Deng Hu;Yang Jieping;Liu Quancheng;Guo Jin;Shang Liping

作者机构：西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 特殊环境机器人技术四川省重点实验室四川绵阳621010 西南科技大学中国工程物理研究院激光聚变研究中心极端条件物质特性联合实验室四川绵阳621010 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2021年第41卷第19期

页      面：232-238页

核心收录：

学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金(11872058) 国防技术基础项目(JSZL2017404A001,JSZL2018204C002) 四川省科技厅重点研发项目(2019YFG0114) 

主　　题：传感器 太赫兹 高灵敏度 品质因数 

摘      要：设计了一种基于不规则U型结构的高灵敏度太赫兹微流传感器,通过仿真软件研究了传感器金属结构中金属线的长度、宽度与夹角对品质因数与吸收率的影响,以及微流通道高度与盖层厚度对传感器性能的影响,最后仿真计算了传感器对不同质量分数葡萄糖溶液的检测性能。结果表明:传感器的最佳结构参数为L_(1)=84μm、L_(2)=82μm、L_(3)=52μm、W=5μm、θ=60°,相应的传感器品质因数可达24,灵敏度可达313 GHz/RIU。这种具有高品质因数与高灵敏度的超材料传感器在无标记微量物质检测方面具有较高的应用价值。