椭偏法研究硫化锌薄膜的中红外光学特性

作     者：王者 肖峻 马孜 

作者机构：西南民族大学电气信息工程学院成都610041 西南技术物理研究所成都610041 

出 版 物：《材料导报（纳米与新材料专辑）》 

年 卷 期：2015年第29卷第1期

页      面：93-97页

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：西南民族大学研究生"创新型科研项目"(CX2014SZ129) 

主　　题：薄膜 光学常量 椭偏法 ZnS 薄膜厚度 

摘      要：采用电子束蒸发法在K9玻璃衬底上分别制备了设计厚度为115nm、467nm、652nm的硫化锌薄膜，分别记为A、B、C；采用椭偏法研究薄膜的光学特性。对薄膜A、B、C进行Brendel振予拟合，根据ZnS薄膜特性及成膜特点，建立模型“基底（K9玻璃）／有效介质层（50％K9玻璃及50％ZnS）／ZnS薄膜／表面粗糙层（50%ZnS玻璃及50％空气）／空气，得到了ZnS薄膜的光学常数曲线和厚度。结果表明，用Brendel振子建立的上述模型对实验数据进行拟合，得到了较小的评价函数MSE；硫化锌薄膜在3000-12500nm波长范围内折射率n和消光系数k都随波长的增加而减小，消光系数惫在长波趋近于0。ZnS薄膜的测量厚度与设计厚度接近。该研究结果对制备和测量高质量的ZnS薄膜有参考意义。