三维数值模拟射频热等离子体的物理场分布
Three-dimensional numerical simulation of physical field distribution of radio frequency thermal plasma作者机构：山西大学物理电子工程学院太原030006 山西大学理论物理研究所太原030006 核工业西南物理研究院成都610041
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2021年第70卷第15期
页 面：201-213页
核心收录：
学科分类：07[理学] 070204[理学-等离子体物理] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金(批准号:11875039 11535003)资助的课题
摘 要：射频热等离子体的产生包含了丰富、复杂的物理场分布,正确认识这些物理场分布对射频热等离子体在工业领域的应用有指导作用.本文建立了三维射频热等离子体的热-电-磁-流动强耦合数学物理模型,考虑了感应线圈的真实螺线管结构,开发了用于计算三维射频热等离子体复杂电磁场的C++程序代码,计算了射频热等离子体重要物理场,如温度场、流场和电磁场的分布情况.结果表明,射频热等离子体各物理场分布具有三维非对称效应,感应线圈结构对温度场和流场的空间分布有重要影响.研究结果对优化、控制射频热等离子体的实际应用过程有重要的指导意义.
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