掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究

作     者：陈真英 聂鹏 廖庆佳 黄文华 孟炎 熊定康 邓文 CHEN Zhenying;NIE Peng;LIAO Qingjia;HUANG Wenhua;MENG Yan;XIONG Dingkang;DENG Wen

作者机构：广西大学物理科学与工程技术学院南宁530004 广西大学行健文理学院南宁530004 

出 版 物：《功能材料》 (Journal of Functional Materials)

年 卷 期：2016年第47卷第1期

页      面：1077-1081页

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11265002) 广西自然科学重点基金资助项目(2010GXNSFD013036) 广西大学行健文理学院科研基金资助项目(2014ZKLX01) 

主　　题：掺钛氧化锌薄膜 磁控溅射 保温时间 微结构 光电性能 

摘      要：采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO（掺钛氧化锌）薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO 薄膜所需靶材的最佳条件.测试结果表明,所有样品均为具有c 轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1500 ℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区（400-760nm）有较高的平均透过率91.16%,较低电阻率1.07×10^-4 Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率.