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Si基沉积ZnO薄膜的光谱特性

Photoluminescence Properties of ZnO Films Deposited on Si Substrates

作     者:张国斌 施朝淑 韩正甫 石军岩 林碧霞 Kirm M Zimmerer G 

作者机构:中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽合肥230029 中国科学技术大学物理系安徽合肥230026 Institut for experimental physik der university Hamburg 

出 版 物:《发光学报》 (Chinese Journal of Luminescence)

年 卷 期:2001年第22卷第2期

页      面:157-159页

核心收录:

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基  金:国家自然基金资助项目 ( 198740 5 7及 5 9872 0 3 7) 

主  题:光致发光 同步辐射 氧化锌 薄膜 半导体 

摘      要:利用同步辐射真空紫外光研究了Si基沉积ZnO薄膜的发射光谱、激发光谱及其温度依赖。首次观测到高于ZnO禁带宽度的发射带 ( 2 90nm) ,并初步指定其来源。

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