Roll-to-roll MPECVD中氧气浓度对氧化硅薄膜性能的影响

作     者：齐凤阳 陈强 刘福平 Qi Fengyang;Chen Qiang;Liu Fuping

作者机构：北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室北京102600 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2012年第32卷第9期

页      面：841-844页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 0817[工学-化学工程与技术] 0806[工学-冶金工程] 070204[理学-等离子体物理] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：北京市属高等学校人才强教计划资助项目(PHR201107145) 

主　　题：SiOx阻隔层 铅笔硬度 阻隔性能 磁增强等离子体化学气相沉积 

摘      要：介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,于PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究不同的工艺条件下,薄膜的阻隔性能,硬度及其影响的因素。实验得到,在单体和氧气的混合反应气体,氧气的比例提高,薄膜中杂质成分较少,薄膜趋向于较硬的类石英膜,薄膜的铅笔硬度提高。通过红外光谱仪对薄膜成分进行分析,给出影响薄膜硬度和原因。