3.2~3.8μm和4.9~5.4μm红外双色滤光片的研制

作     者：周晟 王凯旋 刘定权 胡金超 李耀鹏 王曙光 ZHOU Sheng;WANG Kai-xuan;LIU Ding-quan;HU Jin-chao;LI Yao-peng;WANG Shu-guang

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所上海200083 上海科技大学物质科学与技术学院上海200031 中国科学院大学北京100049 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2021年第14卷第3期

页      面：536-543页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金(No.61705248) 

主　　题：光学薄膜 双色滤光片 红外 低温光谱 

摘      要：双色滤光片在其任意一个几何位置上,均能够有效透过两个精确控制的光谱通道,它可以提升光学探测装置对目标的识别能力。本文选用单晶Ge作为基片,Ge和ZnSe分别作为高低折射率膜层材料,研制了一种包含3.2~3.8μm(通道1)和4.9~5.4μm(通道2)两个通道的红外双色滤光片。在高真空中以热蒸发的方式镀制了滤光片的光学膜层,采用单波长的极值百分比光学监控(POEM)方法控制膜层的光学厚度。在100 K低温下,通道1的平均透射率为94.2%,顶部波纹幅度为5.7%;通道2的平均透射率为96.5%,顶部波纹幅度为0.6%。在两个通道之间(4.0~4.7μm)的截止区域内,平均透射率小于0.16%。该红外双色滤光片具有良好的光学稳定性,有利于高速运动目标的识别。