沉积气压对氮化钒(VN)涂层微结构及其性能的影响

作     者：刘怡飞 包改磊 李助军 李磊 罗锡才 田灿鑫 LIU Yifei;BAO Gailei;LI Zhujun;LI Lei;LUO Xicai;TIAN Canxin

作者机构：广州铁路职业技术学院机电工程学院广东广州510430 华南理工大学国家金属材料近净成形工程技术研究中心广东广州510640 岭南师范学院物理科学与技术学院广东湛江524048 

出 版 物：《润滑与密封》 (Lubrication Engineering)

年 卷 期：2021年第46卷第5期

页      面：68-74页

学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：2020年“攀登计划”广东大学生科技创新培育项目(pdjh2020b1142) 广州铁路职业技术学院校级项目 广州铁路职业技术学院大学生创新创业项目 

主　　题：多弧离子镀 VN涂层 沉积气压 结合强度 摩擦因数 

摘      要：为研究沉积气压对VN涂层力学性能和摩擦性能的影响,采用离子镀制备VN涂层,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜等设备检测VN涂层的物相结构、表面形貌,采用划痕仪测试基体与涂层的膜基结合力,采用摩擦磨损试验机测试涂层的摩擦因数。结果表明:随着沉积氮气气压的升高,VN衍射峰强度逐渐增强,具有(200)晶面择优取向,表面平整度高;随着沉积氮气气压变化,涂层显微硬度和膜基结合力呈抛物线变化趋势,在氮气气压为1.0 Pa时,涂层硬度最高为HV2284,结合力最大为45 N,并具有稳定的摩擦因数,平均摩擦因数为0.85。通过调控沉积气压,多弧离子镀技术可以制备出性能更优越的VN涂层。