铌酸锂单晶薄膜材料

作     者：李青云 朱厚彬 张洪湖 张秀全 胡卉 LI Qingyun;ZHU Houbin;ZHANG Honghu;ZHANG Xiuquan;HU Hui

作者机构：山东大学物理学院济南250100 山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室青岛266000 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2021年第50卷第4期

页      面：716-723页

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家重点研发计划(2018YFB2201700 2019YFA0705000) 

主　　题：铌酸锂 薄膜 离子注入 直接键合 化学机械抛光 

摘      要：铌酸锂晶体集电光、声光和非线性光学等物理特性于一身,且透光范围宽,作为一种重要的光学材料被广泛应用于通信、传感等领域。通过离子注入与直接键合的方式制备出的铌酸锂单晶薄膜材料,保留了铌酸锂体材料的优秀物理特性,并且具有高折射率对比度的优点,使光子器件在集成度和性能上都得到了很大程度的提升。本文介绍了铌酸锂薄膜的制备及应用,展示了直径6英寸(1英寸=2.54 cm)的铌酸锂单晶薄膜。将硅单晶薄膜覆盖在铌酸锂单晶薄膜上面,形成一种新型的复合薄膜材料,结合了铌酸锂出色的光学性能和硅出色的电学性能,本文报道了直径3英寸的复合薄膜材料,X射线证明硅薄膜是单晶结构,这种复合薄膜在未来的集成光电芯片中具有应用潜力。