电泳沉积法制备PZT厚膜及其性能

作     者：张瑞芳 张和平 

作者机构：中国科学技术大学火灾科学国家重点实验室合肥230026 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：2004年第32卷第12期

页      面：1486-1490页

核心收录：

学科分类：081702[工学-化学工艺] 081704[工学-应用化学] 07[理学] 070304[理学-物理化学(含∶化学物理)] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0703[理学-化学] 

基　　金：国家自然科学基金(50076041) 

主　　题：电泳沉积 锆钛酸铅厚膜 悬浮液 pH值 zeta电位 

摘      要：用电泳沉积技术制备了约70μm的PZT[Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O3]厚膜，分析了zeta电位、粘度及电泳沉积速率对PZT悬浮液的稳定性和电泳沉积质量的影响，并研究了烧结后PZT厚膜的结构和电学性能。实验结果表明：在pH=5.5～6.5时，悬浮液的zeta电位高达50 mV以上，此时悬浮液分散性好、粘度低，有最佳的沉积速率(≈31mg·cm^(-2)·min^(-1))和高达51％的相对沉积密度。在此条件下制备出的PZT膜厚均匀一致，无裂纹，经1 000℃保持30min烧结后，在1 kHz下测量得PZT厚膜的介电常数为1 050，介电损耗约为0.05，饱和极化值为20μC／cm^2，剩余极化值为12.9 μC／cm^2，矫顽场强为10.5 kV／cm。