金刚石表面精密研磨机理的研究
作者机构:广东工业大学机电学院广州510090 广东工业大学
出 版 物:《工具技术》 (Tool Engineering)
年 卷 期:2004年第38卷第9期
页 面:89-90页
学科分类:080706[工学-化工过程机械] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 0803[工学-光学工程]
基 金:广州市科技计划项目 (项目编号 :2 0 0 2Z2 -D2 0 41) 广州市科技计划项目 (项目编号 :2 0 0 3B12 0 0 2 ) 广东省自然科学基金项目 (项目编号 :2 0 0 10 0 3 3 )
主 题:金刚石 磨机 结合力 机理 表面 碳原子 共价键 精密研磨 面心立方 联结
摘 要:1 引言金刚石晶体中每个碳原子均以共价键方式与最邻近四个碳原子结合,形成四面体;该四面体在三维空间相互联结,形成等轴面心立方晶系(一种原子密度最高的晶系)[1].碳原子以这种高密度强共价键方式存在,使金刚石晶体具有很强的结合力、稳定性,同时又具有很强的方向性.从而使金刚石表面具有独特的机械、物理和化学性能,其高的强度、硬度、刚性和高的塑性变形抗力又使金刚石表面高精度加工具有特殊性.金刚石是高脆性固体材料,其不同晶面和晶向存在很大的强度差异,这将导致加工产生解理破坏或解理台阶的形成,因此,金刚石表面加工对振动和冲击非常敏感,冲击和振动成为影响金刚石加工的一个重要因素,这既被金刚石加工所充分利用,也成为金刚石表面高精度研磨所需要面对的问题,研究结果表明,解理破损是金刚石刀具刃口磨损和破损的主要形式[2].