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非晶合金微力传感器

Bulk metallic glass micro-force sensor

作     者:张凯翔 马明哲 刘泽 ZHANG Kaixiang;MA Mingzhe;LIU Ze

作者机构:武汉大学土木建筑工程学院工程力学系湖北武汉430072 武汉大学土木建筑工程学院土木工程系湖北武汉430072 

出 版 物:《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期:2021年第40卷第5期

页      面:67-70页

学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(11872284) 武汉市科学技术局资助项目(2019010701011390) 

主  题:微力传感器 非晶合金 微纳机电系统 微成型 

摘      要:非晶合金具有高强度、高弹性极限等优异的力学性质以及独特的可热塑性成形特性。基于设计的双悬臂探针,制备了一种非晶合金微力传感器。利用所制备的微力传感器,在显微镜下可方便地实现微纳米尺寸试样或部件侧弯作用下的载荷-位移曲线的快速获取。该微力传感器测试原理简单,不需要额外的测试电路设计,具有线性度好、可重复性高、量程大等特点。

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