液相外延生长过程中外延层厚度的卷积计算方法
A convolution approach for the epilayer thickness in liquid phase epitaxial growth作者机构：中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室上海200083
出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)
年 卷 期：2021年第40卷第2期
页 面：161-165页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：Supported by National Natural Science Foundation of China(62004206)
摘 要：讨论了液相外延生长过程中外延层厚度与生长条件的关系。在生长速率决定于溶质扩散的前提下,推导出了外延层厚度的卷积表达式。利用这一表达式,可以得出不同液相外延工艺中外延层厚度与生长时间、冷却速率的关系。并且,外延层厚度的卷积算法可以应用于更为复杂的生长条件,例如:非均匀的降温速率、非线性的液相线形状以及有限的生长溶液等。
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