非热等离子体材料表面处理及功能化研究进展
Recent progress of non-thermal plasma material surface treatment and functionalization作者机构：北京印刷学院等离子体物理与材料实验室北京102600
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2021年第70卷第9期
页 面：16-32页
核心收录：
学科分类：07[理学] 070204[理学-等离子体物理] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金(批准号:11505013,11875090) 北京市自然科学基金(批准号:1192008) 北京市委组织部优秀人才青年拔尖项目(批准号:2016000026833ZK12) 北京市教委科技项目(批准号:KM202010015003)资助的课题。
摘 要：等离子体技术在现代材料制备和表面处理过程中起着重要的作用.本文聚焦于非热等离子体(NTP)材料表面处理及功能化应用,重点综述NTP在材料表面处理及功能化过程中的最新研究进展,包括激励产生等离子体的等离子体源、NTP材料表面处理及功能化工艺以及具体应用.其中,激励产生等离子体的等离子体源包括感应耦合等离子体/容性耦合等离子体、电子回旋共振/表面波等离子体、螺旋波等离子体、大气压射流等离子体和介质阻挡放电等;NTP材料表面处理及功能化工艺包括等离子体表面接枝和聚合、等离子体增强化学气相沉积和等离子体辅助原子层沉积、等离子体增强反应刻蚀和等离子体辅助原子层刻蚀工艺等;等离子体表面处理及功能化的具体应用领域包括亲水/疏水表面改性、表面微纳加工、生物组织表面处理、催化剂表面处理等.最后提出了NTP技术材料表面处理及功能化的应用前景与发展趋势.
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