杂质对溶胶-凝胶SiO_2薄膜激光损伤的影响
Influence of impurities on laser-induced damage of sol-gel SiO_2 films作者机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 电子科技大学物理电子学院成都610054
出 版 物:《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)
年 卷 期:2011年第23卷第5期
页 面:1267-1271页
核心收录:
学科分类:0808[工学-电气工程] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
基 金:国家高技术发展计划项目 中央高校基本科研业务费专项资金项目(ZYGX2009X007)
主 题:溶胶-凝胶 SiO2增透膜 激光预处理 激光辐照损伤
摘 要:采用溶胶-凝胶法制备了含有吸收性杂质和非吸收性杂质的SiO2增透膜,采用波长为1 064 nm的激光对其进行了小光斑激光预处理,对比研究了预处理前后的激光损伤差异,研究表明:激光预处理对于洁净的SiO2薄膜影响不大;含10μm SiO2颗粒杂质的样品微透镜效应很明显,容易成为损伤起始的种子,激光预处理后情况有所改善;含有CeO2颗粒杂质的样品表现出了很强的吸收性质,损伤阈值降低到不足洁净样品的一半。所有样品激光预处理后损伤形貌未发生变化,透光率峰值均有约50 nm的蓝移。