溶胶-凝胶法制备Ba_(0.90)Sr_(0.10)Zr_xTi_(1-x)O_3成分梯度薄膜的介电性能
DIELECTRIC PROPERTIES OF COMPOSITIONALLY GRADED Ba_(0.90)Sr_(0.10)Zr_xTi_(1-x)O_3 THIN FILMS PREPARED BY THE SOL-GEL TECHNIQUE作者机构：同济大学功能材料研究所上海200092
出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)
年 卷 期：2010年第38卷第12期
页 面：2268-2274页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：高等学校博士学科点专项科研基金(20060247003) 上海市科学技术委员会(07DZ22302)资助项目
主 题：锆钛酸锶钡 梯度薄膜 介电性能 温度稳定性 溶胶-凝胶
摘 要：采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3(BSZT)(x=0～0.40)组分及其成分梯度薄膜,研究各组分及梯度薄膜的相结构、显微结构及其介电性能。结果表明:随着Zr含量的增加,组分BSZT薄膜的相对介电常数(εr)和介电损耗(tanδ)降低,Curie温度向低温方向移动。与单相薄膜相比,成分梯度薄膜同时具有适中的相对介电常数(15030)及良好的温度稳定性。
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