退火热处理对氧化铝表面铜膜微观形貌和性能的影响
Effect of Annealing on Microstructure and Properties of Copper Film on Aluminium Oxide作者机构：陕西理工学院陕西汉中723001
出 版 物：《铸造技术》 (Foundry Technology)
年 卷 期：2014年第35卷第10期
页 面：2304-2306页
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
摘 要：以氧化铝为基底,利用磁控溅射镀膜设备在其表面制备铜膜,研究退火热处理工艺对铜膜微观形貌和性能的影响。结果表明,退火热处理对氧化铝铜膜的表面粗糙度、电阻率和膜基结合力均有明显影响。退火热处理后,氧化铝铜膜的表面粗糙度明显增加。
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