YBCO半导体薄膜及Bolometer特性
STUDY ON SEMICONDUCTING YBCO THIN FILM AND CHARACTERISTICS OF BOLOMETER作者机构:长春光学精密机械学院长春130022 昆明物理研究所昆明650023
出 版 物:《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期:2000年第49卷第10期
页 面:2017-2021页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0702[理学-物理学]
主 题:YBCO半导体薄膜 BOLOMETER特性 微观结构
摘 要:就Si为衬底的钇钡铜氧 (分子式 :Y1Ba2 Cu3 O7-δ,δ≥ 0 5 ,简称YBCO)薄膜的半导体性质 ,及用于红外测辐射热计 (Bolometer)的探测性能进行了研究 .通过测定温度电阻系数 (TCR)和霍尔 (Hall)系数 ,并采用XRD、拉曼散射光谱等手段分析了YBCO半导体薄膜的微观结构和光谱响应特性 ,认为该薄膜是非制冷红外焦平面的新型探测元材料 .