K型单刀四掷射频MEMS开关设计

作     者：王姗姗 吴倩楠 李强 韩路路 李孟委 WANG Shanshan;WU Qiannan;LI Qiang;HAN Lulu;LI Mengwei

作者机构：中北大学前沿交叉科学研究院山西太原030051 中北大学仪器与电子学院山西太原030051 中北大学理学院山西太原030051 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2021年第40卷第4期

页      面：70-73页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：军工双百工艺攻关资助项目(JCKY201808B006) 装备发展部新品项目(2018XW0026,2019XW0010)。 

主　　题：K型功分器 单刀四掷开关 低插损 无线通信 

摘      要：针对射频器件小型化的发展需求,设计了一种新型射频微机电系统(MEMS)单刀四掷开关结构,通过K型功分器与四个单刀单掷开关级联而成,实现低插损、高隔离的射频性能。其中,K型功分器设计是由1个输入端、4个输出端及1个圆盘型结构优化组成。仿真结果表明:在DC-20 GHz频段内,该单刀四掷开关的插入损耗≤0.41 dB,隔离度≥21 dB,驱动电压为12.4 V;并且在整个工作频段内射频性能稳定,波动幅度小,线性度高。设计的K型单刀四掷开关整体尺寸为2.11 mm×1.6 mm×0.6 mm,在L~Ku(1~18 GHz)波段的小型化无线通信系统中具有较大的应用潜力。