Angel型平面龙虾眼光学器件微孔统计特性测试和分析

作     者：黎龙辉 张臣 金戈 袁为民 李臻 顾燕 张振 徐昭 姜博文 廖亦戴 吴超 李玉飞 郭燕 秦天 凌志兴 赵冬华 Li Longhui;Zhang Chen;Jin Ge;Yuan Weimin;Li Zhen;Gu Yan;Zhang Zhen;Xu Zhao;Jiang Bowen;Liao Yidai;Wu Chao;Li Yufei;Guo Yan;Qin Tian;Ling Zhixing;Zhao Donghua

作者机构：北方夜视技术股份有限公司江苏南京211106 中国科学院国家天文台中国科学院空间天文与技术重点实验室北京100012 中国科学院大学天文与空间科学学院北京100049 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2021年第41卷第3期

页      面：184-190页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中国科学院战略性先导科技专项(XDA15310101-01) 国家自然科学基金重点支持项目(Y713021V01) 国家自然科学基金青年基金(12003010) 

主　　题：光学设计 平面龙虾眼光学器件 聚焦成像 Tilt型缺陷 角分辨率 

摘      要：为了研究Angel型平面龙虾眼光学器件微孔统计特性对聚焦成像性能的影响,研发了一套点对点的真空X射线束流测试装置,采用微焦斑X射线束对研制的光学器件进行了聚焦成像测试。通过利用刀口狭缝系统对平面龙虾眼光学器件进行二维扫描测试,发现光学器件的不同区域存在不同程度的Tilt型工艺缺陷;基于蒙特卡罗软件模拟了Tilt工艺缺陷对聚焦成像的影响。实验结果表明:实验所采用的平面龙虾眼光学器件能在3650 mm焦距处将入射的X射线束会聚成清晰的十字图像,焦斑最大半峰全宽约为4.63 mm,对应的角分辨率最大约为4.36′,点扩展函数的不均匀性约为33.7%。模拟结果表明:Tilt型工艺缺陷会导致中心亮斑强度下降,十字线弥散、不连续,二次焦斑畸变,成像质量变差。