光子晶体调制半导体激光器侧模

作     者：张建心 刘磊 陈微 渠红伟 郑婉华 Zhang Jianxin;Liu lei;Chen Wei;Qu Hongwei;Zheng Wanhua

作者机构：中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室北京100083 中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室北京100083 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2013年第42卷第1期

页      面：69-72页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家高技术研究发展计划(2011CB922002 2012CB933501) 国家自然科学基金(61025025 61137003 60838003) 

主　　题：光子晶体 侧模 半导体激光器 

摘      要：为了实现半导体激光器的单侧模稳定工作,提出了一种在激光器的脊条两侧引入光子晶体结构滤除半导体激光器高阶侧模的方法。通过调整激光器上表面的刻蚀深度、光子晶体区域的条宽和间隔来改变激光器内部的模场分布,同时结合选择性的载流子注入来增强基模的激射优势,进而减少侧模的数量。实验上制作了主脊条宽度为6μm,光子晶体周期5μm,波长1 550 nm的半导体激光器。测试结果表明:在连续工作的情况下,电流300 mA的时候,高阶侧模受到抑制,水平发散角变为10.2°,证实了光子晶体结构调制激光器侧模的可行性。