大口径非球面元件可控气囊抛光系统

作     者：潘日 杨炜 王振忠 郭隐彪 王健 钟波 Pan Ri;Yang Wei;Wang Zhenzhong;Guo Yinbiao;Wang Jian;Zhong Bo

作者机构：厦门大学物理与机电工程学院福建厦门361005 中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2012年第24卷第6期

页      面：1344-1348页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0702[理学-物理学] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基　　金：国家自然科学基金项目(51075343) 福建省自然科学基金项目(2010J05122) 

主　　题：大口径非球面光学元件 进动抛光 可控气囊抛光系统 设计及研制 

摘      要：根据大口径非球面光学元件的实际加工需要,设计并制造可控气囊抛光系统,并对机构进行运动学仿真,仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求。为了证明所设计系统的可加工性,以直径320mm的圆形平面光学元件进行加工实验。经过该气囊抛光工具24h的抛光后,工件达到较好的面型精度,光学元件的表面粗糙度由0.272λ减小到0.068λ(λ=632.8nm),PV值从1.671λ降低到0.905λ。对光学元件的实际加工实验结果表明:可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好,符合设计要求,可有效提高加工工件面型精度。