应力抛光技术加工抛物面的实验研究

作     者：孙天祥 杨力 吴永前 万勇建 范斌 SUN Tian-xiang;YANG Li;WU Yong-qian;WAN Yong-jian;FAN Bin

作者机构：中国科学院光电技术研究所成都610209 中国科学院研究生院北京100039 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2009年第36卷第12期

页      面：123-126页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60808017) 

主　　题：光学加工 应力抛光技术 弹性力学 抛物面 光学测量 

摘      要：大口径非球面加工技术一直是先进光学制造领域研究的前沿课题,本文开展了以大型非球面应力抛光技术(SMP)为核心的相关先进光学制造技术的研究。研究了应力抛光技术的原理及算法,以加工一块口径为Φ314mm,F/7的抛物面镜为例,验证应力抛光技术的合理性和有效性。采用干涉仪检测抛光结束的抛物面其峰值(PV)为3.317λ,均方根(rms)为0.489λ。结果表明,应力抛光技术能够以较高精度、快速地形成旋转对称的抛物面,其面形误差满足或接近于非球面面形的精度要求。