微型溅射离子泵放电模拟与抽气特性研究

作     者：耿健 郭美如 王晓冬 张世伟 成永军 孙雯君 黄海龙 李海涛 任正宜 吴成耀 GENG Jian;GUO Meiru;WANG Xiaodong;ZHANG Shiwei;CHENG Yongjun;SUNWenjun;HUANG Hailong;LI Haitao;REN Zhengyi;WU Chengyao

作者机构：东北大学沈阳110004 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000 

出 版 物：《真空与低温》 (Vacuum and Cryogenics)

年 卷 期：2021年第27卷第1期

页      面：45-51页

学科分类：08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(61971209) 国家重大科学仪器设备开发专项(2017YFF0105801) 

主　　题：微型溅射离子泵 放电模拟 极小抽速 抽气特性 

摘      要：为了解溅射离子泵抽气过程中内部放电与抽速的关系,考虑了N2分子的激发、电离及粒子之间的弹性碰撞等过程,利用COMSOL软件对微型溅射离子泵内部气体放电进行了数值模拟研究。得到了电子密度、温度、粒子轨迹、入射角度及入射能量的分布变化,并分析了这些因素对抽速的影响。在搭建的实验平台上对微型溅射离子泵进行了抽速测量,得到了不同工作电压下抽速随压力变化的曲线,并与理论抽速相对比,模拟结果、实验数据与理论抽速有较好的一致性。对溅射离子泵的设计与改进具有参考价值。