RBS法测量重元素衬底上轻元素薄靶厚度的方法研究

作     者：吴笛 仇猛淋 王乃彦 郭冰 贺创业 王广甫 樊启文 党永乐 刘伏龙 付光永 杨婉莎 魏继红 WU Di;QIU Menglin;WANG Naiyan;GUO Bing;HE Chuangye;WANG Guangfu;FAN Qiwen;DANG Yongle;LIU Fulong;FU Guangyong;YANG Wansha;WEI Jihong

作者机构：中国原子能科学研究院核物理研究所北京102413 北京师范大学核科学与技术学院射线束技术教育部重点实验室北京100875 

出 版 物：《原子能科学技术》 (Atomic Energy Science and Technology)

年 卷 期：2021年第55卷第2期

页      面：348-352页

核心收录：

学科分类：082704[工学-辐射防护及环境保护] 08[工学] 0827[工学-核科学与技术] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11975316,11490560) 国家重点研发计划资助项目(2016YFA0400502) 国家财政部稳定支持研究经费资助项目(WDJC-2019-02) 

主　　题：卢瑟福背散射 薄靶 厚度 金硅面垒探测器 

摘      要：在核反应实验中,靶厚的精度往往会直接影响实验结果的可靠性。为精确测量重元素衬底上轻元素薄靶的厚度,本文通过卢瑟福背散射(RBS)法,使用能量1.5 MeV的质子束对蒸镀在300μm厚181 Ta衬底上薄74 Ge靶的厚度进行了测量。RBS法测量结果与称重法相差较小,但信噪比从1∶2000提升到1∶12,靶厚相对不确定度由10%减少到5%左右。同时采用SIMNRA软件对测量结果进行了模拟验证,模拟能谱与实验能谱符合较好。通过RBS法测量重元素衬底上轻元素薄靶的厚度,尤其当重元素衬底的质量远大于靶物质时,可有效提高测量结果的信噪比及不确定度,为核反应实验的分析提供了较好的依据。