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一种带摆动机构的线锯床的设计

The Design of a Wire Saw with Rocking Mechanism

作     者:侯志坚 葛培琪 高玉飞 HOU Zhijian;GE Peiqi;GAO Yufei

作者机构:山东大学机械工程学院 

出 版 物:《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期:2006年第34卷第7期

页      面:65-66,70页

学科分类:08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(编号:50475132) 

主  题:单晶硅 切片 线锯床 

摘      要:由于线锯切割具有切片薄、表面翘曲变形小、厚薄均匀和切口损失小等优点,被广泛用于单晶硅切片加工。本文介绍了单晶硅切片加工的常用设备及其特点,分析了主要影响因素,设计了一种带摆动机构的线锯床。该摆动机构由伺服电机驱动并自动控制,与传统线锯床相比,其锯丝可绕其中点转动,加工圆形工件时,能保持锯丝与工件的接触长度最短或不变。本文还指出了该锯床制造中的几点工艺问题。

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