SrTiO_3薄膜的自组装生长

作     者：李金隆 张鹰 魏贤华 邓新武 李言荣 

作者机构：电子科技大学微电子与固体电子学院成都610054 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：2004年第32卷第9期

页      面：1073-1077页

核心收录：

学科分类：0817[工学-化学工程与技术] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

主　　题：自组装生长 多元氧化物薄膜 钛酸锶 

摘      要：利用激光分子束外延技术在LaAlO3(100)单晶基片表面生长SrTiO3(STO)薄膜。通过反射式高能电子衍射原位实时监测STO薄膜自组装生长过程,采用原子力显微镜分析自组装生长演化过程,并利用X射线衍射分析薄膜结构及其生长方向。对不同生长条件下薄膜的生长的研究发现:在较低生长温度时,STO薄膜在(200)方向上以三维岛状模式进行生长,小岛在单位原胞尺度呈波浪状周期性排列,即出现自组装生长;而在较高的生长温度时,薄膜以层状模式进行生长自组装行为被抑止。并据此讨论了STO多元氧化物薄膜自组装生长条件及生长机理。