使用最小二乘迭代相移方法测量透明元件

作     者：李泾渭 辛青 郁杰 侯昌伦 Li Jingwei;Xin Qing;Yu Jie;Hou Changlun

作者机构：杭州电子科技大学电子信息学院浙江杭州310000 

出 版 物：《电子技术应用》 (Application of Electronic Technique)

年 卷 期：2021年第47卷第1期

页      面：100-107页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 070207[理学-光学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0101908) 

主　　题：干涉 最小二乘迭代算法 相移算法 面形检测 多表面干涉 

摘      要：为了更精确地测量透明平板前后两个面的面形相位发布,提出了一种基于最小二乘迭代的相移算法。通过一次最小二乘相移算法后,可以得到相应的透明平板面形图,但是由于初始得到的相位值存在误差,因此得到的面形图精度并不会很高。因此需要通过得到的面形图推导出准确的相位值,本算法通过最小二乘发多次迭代的方法,计算出较准确的初始相移值。对该方法进行仿真实验后,可知此算法的测量精度较高且抗噪能力比较好,仿真得到面形图的PV值与RMS值误差值均小于0.006λ。在实际测量结果中,得到测量结果的PV值误差小于0.09λ,RMS误差小于0.02λ。测量到的面形与物体真实面形接近,测量精度较高。