离子强化脉冲磁控溅射沉积试验性碳薄膜
出 版 物：《材料保护》 (Materials Protection)
年 卷 期：2002年第35卷第9期
页 面：70-70页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
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