一种微小物体精密定位的直线微工作台(英文)

作     者：彭玉鑫 高伟 金子純史 荒井義和 清水裕樹 冈本幸一 千叶美帆 相泽周二 PENG Yu-xin;GAO Wei;KANEKO Jun;ARAI Yoshikazu;SHIMIZU Yuki;OKAMOTO Koichi;CHIBA Miho;AISAWA Shuji

作者机构：日本东北大学纳米机械系纳米测量与控制实验室 日本NEC/TOKIN株式会社 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第9卷第3期

页      面：221-227页

核心收录：

学科分类：0817[工学-化学工程与技术] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0703[理学-化学] 0811[工学-控制科学与工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 

主　　题：直线微工作台 平滑冲击驱动 压电元件 磁铁 精密定位 大行程 

摘      要：提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的变化,从而提高了微工作台的稳定性.设计制作了微工作台样机,并对精密定位工作台的动态特性和静态特性进行了实验研究.结果表明,微工作台体积小(20 mm×10 mm×3 mm),可实现6 nm的精确定位,最高驱动速度可达5.4 mm/s,最大行程可达20 mm.