一种微小物体精密定位的直线微工作台(英文)
A Linear Micro-Stage with a Long Stroke for Precision Positioning of Micro-Objects作者机构:日本东北大学纳米机械系纳米测量与控制实验室 日本NEC/TOKIN株式会社
出 版 物:《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)
年 卷 期:2011年第9卷第3期
页 面:221-227页
核心收录:
学科分类:0817[工学-化学工程与技术] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0703[理学-化学] 0811[工学-控制科学与工程] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0801[工学-力学(可授工学、理学学位)]
主 题:直线微工作台 平滑冲击驱动 压电元件 磁铁 精密定位 大行程
摘 要:提出了一种基于平滑冲击驱动原理的精密定位直线微工作台.通过采用微小强磁铁作为摩擦元件,减小了由摩擦元件磨损而产生的摩擦力的变化,从而提高了微工作台的稳定性.设计制作了微工作台样机,并对精密定位工作台的动态特性和静态特性进行了实验研究.结果表明,微工作台体积小(20 mm×10 mm×3 mm),可实现6 nm的精确定位,最高驱动速度可达5.4 mm/s,最大行程可达20 mm.