弹性反冲探测技术分析薄膜中的氢和氦含量
Elastic Recoil Detection Analysis of Hydrogen and Helium Content in Thin Film作者机构：中国石油大学(华东)物理科学与技术学院东营257061
出 版 物：《理化检验（物理分册）》 (Physical Testing and Chemical Analysis(Part A:Physical Testing))
年 卷 期：2010年第46卷第8期
页 面：496-499,506页
学科分类：07[理学] 08[工学] 070203[理学-原子与分子物理] 0827[工学-核科学与技术] 082701[工学-核能科学与工程] 0702[理学-物理学]
基 金：中国石油大学(华东)自主创新科研计划资助项目(09CX04067A)
摘 要：给出了用离子束来弹性反冲探测能谱,分析薄膜材料中的轻质元素含量及其深度分布的基本原理和试验方法,并对其发展和应用做了介绍。作为应用举例,用8 MeV的O3+作为入射离子进行弹性反冲金属钛膜中的氢和氦,通过解析能谱获得了氢和氦含量的深度分布曲线。该技术在涉及氢和氦在材料中的行为研究方面将有重要应用。
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