半导体场效应型气体传感器的研究现状与未来
The Present and Future of Semiconductor Field -effect Gas Sensors
作 者：牛蒙年
作者机构：东南大学
出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)
年 卷 期：1993年第12卷第3期
页 面：6-11页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
主 题：集成技术 半导体 气体传感器
摘 要：集成技术在未来传感器制作中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的半导体场效应气体传感器的研究现状与未来发展。
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