覆盖非等厚电极层的石英晶体板高频振动分析

作     者：吴荣兴 王晓明 WU Rongxing;WANG Xiaoming

作者机构：宁波职业技术学院建筑工程学院浙江宁波315800 宁波大学机械与力学学院浙江宁波315211 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：2020年第40卷第6期

页      面：455-460页

学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：浙江省教育厅高校科研项目(Y201636501) 

主　　题：石英晶体 板 频率 谐振器 电极 

摘      要：利用Mindlin一阶板理论分析了覆盖非等厚电极层的AT切石英晶体板的高频振动,获得了包含厚度剪切振动模态、弯曲振动模态和面剪切振动模态的色散关系、频谱关系和振动模态位移图。计算结果表明由于非等厚电极层的质量效应,厚度剪切振动模态的一阶截止频率有所降低。随着石英晶体板长厚比的增加,各振动模态也在相互转化。为避免厚度剪切振动模态和其他模态的强耦合,可以选取石英晶体板的最佳长厚比作为实际谐振器的尺寸。振动模态位移图显示选取最佳长厚比尺寸时,厚度剪切振动模态是石英晶体谐振器高频振动的工作模态。