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作者：杨国辉哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

水分是影响农作物、食品和矿物等产品品质的根本因素。传统的微波透射法,由于其微波耦合到自由空间,测量易受到外界干扰,测量精度很难再有实质性提高。而以谐振腔作为测量物料水分的传感器,由于被测物料位于腔体内部,不适合工业在线测... 详细信息

水分是影响农作物、食品和矿物等产品品质的根本因素。传统的微波透射法,由于其微波耦合到自由空间,测量易受到外界干扰,测量精度很难再有实质性提高。而以谐振腔作为测量物料水分的传感器,由于被测物料位于腔体内部,不适合工业在线测量的应用。因此,有必要研制一种使用开路同轴谐振腔作为传感器的测量系统,实现快速、高精度的测量。本课题“基于微波谐振腔的物料水分传感器研制”采用谐振腔进行物料水分测量中所涉及的理论、方法和关键技术进行深入的研究,主要研究工作如下:首先,通过系统分析国内外微波法物料水分测量技术的发展现状,指出高精度、快速的物料水分测量已经成为相关生产加工领域面临的主要问题;在分析现有水分测量方法的基础上,指出红外法、自由空间微波法在水分测量中存在的不足。基于此提出了一种开路同轴谐振腔水分传感器。提出了一种基于同轴谐振腔微扰原理的谐振微波传感模型,从谐振腔微扰原理出发,利用时域有限差分法(FDTD)对谐振腔空间进行网格划分并求解,建立了谐振腔传感模型。以该模型为基础,系统分析了传感器和物料作用后的内外电磁场分布。利用FDTD方法和CST软件,研究了谐振腔空载谐振频率及开口保护盖材质对测量精度的影响。仿真结果表明:选择2.45GHz作为谐振频率可以较好地平衡测量非线性和分辨力两个因素;开口保护盖材质影响测量分辨力。研究了谐振腔传感器应用于在线测量的安装方法和相应物料传送结构。最后,研究了实验样品的制备过程。对同轴开路谐振腔水分传感器的稳定性、分辨力和重复性进行了实验研究。

关键词：开路同轴谐振腔水分传感器 FDTD CST

调频式电容位移传感器高速测频与非线性校正技术研究

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调频式电容位移传感器高速测频与非线性校正技术研究

作者：权清科哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

电容式位移传感器由于具有结构简单、分辨率高、动态特性好、能实现非接触式测量等特点,在精密加工、高精度定位、超精密测量等领域得到广泛的应用。电容位移传感器的输出信号较小,而且输入输出特性存在一定的非线性,如何实现电容信号... 详细信息

电容式位移传感器由于具有结构简单、分辨率高、动态特性好、能实现非接触式测量等特点,在精密加工、高精度定位、超精密测量等领域得到广泛的应用。电容位移传感器的输出信号较小,而且输入输出特性存在一定的非线性,如何实现电容信号的提取以及对其输入输出特性进行有效的非线性处理就成了影响电容传感器性能的关键。本文基于调频式电容位移传感器输出信号的特点,对调频信号频率测量技术以及非线性校正技术进行深入了的研究,具体研究工作如下:首先,在对频率测量的方法进行归纳、总结的基础上,设计了以现场可编程门阵列(FPGA)为核心的频率测量模块,对多周期同步测频进行了方法改进,实现FPGA内部多周期同步测频逻辑代码的编写;其次,对基于神经网络的非线性校正以及曲线拟合技术进行了研究,设计了基于傅立叶级数神经网络的非线性校正算法并进行仿真,实现了算法向DSP芯片中程序的移植。再次,研制了基于TMS320VC5402芯片的电容位移传感器非线性校正和信号处理模块,进行了DSP外围的FLASH存储器扩展、串口通信、液晶显示等模块的软硬件设计。最后,对频率测量以及非线性校正模块进行了性能测试、实验和研究,为电容位移传感器性能的改进提供了理论和数据的参考。

关键词：电容传感器频率测量非线性校正神经网络

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超精密装备恒温气浴关键技术研究

超精密装备恒温气浴关键技术研究

作者：陆叶盛哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

以步进扫描光刻机为代表的大型超精密加工、测量装备在现代工业生产及科学研究过程中扮演着及其重要的角色。作为现代大规模集成电路加工制造的核心装备，光刻机具有极高的技术集成度，其中以直线电机、音圈电机为代表的运动部件的定位... 详细信息

以步进扫描光刻机为代表的大型超精密加工、测量装备在现代工业生产及科学研究过程中扮演着及其重要的角色。作为现代大规模集成电路加工制造的核心装备，光刻机具有极高的技术集成度，其中以直线电机、音圈电机为代表的运动部件的定位精度和以激光干涉仪为代表的测量装置的测量精度都达到纳米级，对环境参数特别是温度极其敏感，需要环控技术来保证其纳米级精度。同时在超精密测量领域中，以纳米三坐标测量机和激光干涉仪为代表的超精密测量装备也因其纳米级的测量精度对使用环境和装备本身内部微环境控制有一定的需求。本课题“超精密装备恒温气浴关键技术研究”针对上述应用背景，研制一种可用于激光干涉仪光路稳定以及其相关镜组和装卡件温度控制的高精度恒温气浴装置。并主要完成如下工作：分析了激光干涉仪工作时来自外界环境的不利于干涉仪光路稳定的干扰因素，并根据Edlen公式着重分析了引起空气折射率变化的各项原因，最终确认环境参数中温度参数为主要干扰项;同时，分析了用以消除这些干扰所需的各功能模块，并计算了相关参数，主要包括加热、制冷等核心单元;最后根据上述分析得到的结论，设计了以高精度恒温空气处理模块和基于多层板式结构的气浴均流模块为核心的恒温气浴系统的方案;在此基础上，结合课题应用背景，分析了温度控制策略和算法，并在系统控制策略上选用了加热、制冷同时进行的双向微调方案，较好的抵消了加热、制冷单元各自的热惯性，提高了系统控制精度，还研究了用于恒温气浴系统闭环控制的PID算法及其参数整定方法。根据恒温气浴系统方案，设计并研制了高精度空气处理模块，通过风机、热交换器、均流板、电加热器等关键部件的组合实现了恒温气浴，并通过理论计算得到加热单元理论控制分辨力约为0.019°C、制冷单元的理论控制分辨力为0.004°C。同时，分析了等风量送风的相关技术，设计并加工了基于多层板式结构的气浴均流模块（气浴板），采用了楔形腔体结构和均流膜来实现气浴均匀输出，同时利用ANSYS软件对气浴板气浴均匀性进行了仿真分析。最后，本文搭建了恒温气浴系统实验平台，并在该平台上完成了系统的调试和功能指标验证性实验，实验结果表明：本课题所设计加工的恒温气浴系统达到课题目标。

关键词：光刻机恒温气浴气浴板 PID控制

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基于多传感器频带融合的主动隔振算法研究

基于多传感器频带融合的主动隔振算法研究

作者：金明睿哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

在尖端科学实验以及超精密加工制造领域,环境微振动是影响实验精度、加工制造精度的关键因素,环境微振动幅值小、频带宽、多为随机信号的特点为环境微振动的有效隔离带来了挑战。主动隔振技术是实现环境微振动隔离的有效手段,其在被动... 详细信息

在尖端科学实验以及超精密加工制造领域,环境微振动是影响实验精度、加工制造精度的关键因素,环境微振动幅值小、频带宽、多为随机信号的特点为环境微振动的有效隔离带来了挑战。主动隔振技术是实现环境微振动隔离的有效手段,其在被动式隔振装置的基础上引入了传感器、执行器,通过传感器采集振动信息,利用执行器出力削弱负载的残余振动,进一步提升隔振效果。对于主动隔振系统而言,如何利用各振动传感器的信号,构建高效的主动隔振算法,是进一步扩展主动隔振系统隔振频带,降低隔振系统振动传递率的有效途径。本文针对主动隔振系统中制约隔振性能提升的传感器噪声展开了研究,本文主要研究内容如下:首先,针对主动隔振系统反馈控制回路中,单一传感器难以获取全频段且低噪声负载振动信息的问题,根据位移传感器与速度传感器自噪声谱分布的差异,提出了基于频带拼接的多传感器融合反馈控制方法。对多种形式的直接反馈控制方法进行了理论分析,为多传感器融合反馈控制方法提供理论基础;在传感器噪声获取部分,利用三传感器互相关法获取位移传感器、速度传感器的自噪声谱;根据两传感器的自噪声谱分布特性,设计互补滤波器,对两传感器信号进行频带拼接;通过仿真验证了基于频带拼接的多传感器融合反馈控制方法的有效性。然后,针对主动隔振系统难以兼顾地面振动抑制以及减小传感器噪声扰动的问题,提出基于多传感器融合的H∞控制算法。首先对主动隔振系统进行动力学建模与分析,建立传统控制模型;将传统控制模型向H∞控制模型转化,得到主动隔振系统的广义被控对象矩阵,建立主动隔振系统的H∞控制模型;根据隔振系统各项扰动分布特性以及隔振性能的需求,完成权函数设计,进一步采用riccati方程法完成H∞控制器的求解,得到控制器结果;通过频域以及时域仿真验证了基于多传感器融合的H∞控制算法的有效性。最后,为验证本文所提出的两种控制方法的有效性,搭建了精密主动隔微振实验系统,开展了控制方法验证实验。实验结果表明,基于频带拼接的多传感器融合反馈控制方法虽然增大了隔振系统的固有频率,但是提供了一定程度的低频振动衰减,三个轴向低频振动传递率约为:x轴向-5.2d B,y轴向-4.5d B,z轴向-6.5d B,达到预期低频隔振效果,验证了该方法的有效性。基于多传感器融合的H∞控制方法提供了低频段以及固有频率附近的振动衰减。三个轴向低频振动传递率约为:x轴向-5.1d B,y轴向-7.8d B,z轴向-4.8d B,与预期的低频振动传递率-6d B较为相近。三个轴向固有频率处振动传递率为:x轴向-5.5d B,y轴向-9.1d B,z轴向1.1d B,仅z轴向结果与预期的-6.5d B有所差异,考虑是系统建模环节存在误差导致效果有所差异。x、y轴向的负载残余振动速度达到VC-G标准,z轴向的负载残余振动速度达到VC-F标准,验证了该主动隔振方法的有效性。

关键词：主动隔振多传感器频带融合 H∞控制

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基于电机控制的低阻抗弹性驱动器设计

基于电机控制的低阻抗弹性驱动器设计

作者：王勇利哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

弹跳机器人是目前机器人学科一个重要的发展方向,在反恐防爆、考古勘察、军事、地质勘探以及航天探索等诸多领域都具有广阔的应用前景。本文针对弹跳机器人领域的一个重要研究方向,具有低阻抗输出特性的电机驱动弹性驱动器展开研究,以... 详细信息

弹跳机器人是目前机器人学科一个重要的发展方向,在反恐防爆、考古勘察、军事、地质勘探以及航天探索等诸多领域都具有广阔的应用前景。本文针对弹跳机器人领域的一个重要研究方向,具有低阻抗输出特性的电机驱动弹性驱动器展开研究,以期完成一种利用弹性结构实现的电机驱动小阻抗弹跳机器人腿部驱动装置。本文在论述国内外弹跳机器人及其驱动装置发展概况的基础上,对此类弹性驱动器进行了理论建模分析,着重分析了驱动器的频域特性,主要包括驱动器的驱动带宽和阻抗特性,通过分析表明弹性驱动器的带宽与弹性器件的刚度以及阻尼比直接相关,同时也与控制系统参数相关,通过增大弹性器件刚度和阻尼比可以明显增大带宽,但驱动器的输出阻抗同样有所增大。在实际使用中需根据需要进行优化调整。在理论特性分析的基础上,进行了驱动器的机械结构设计,主要包括一种滑杆导轨式弹性结构、丝杠刚性位移推动结构、弹性元器件变形测量装置以及电机等元件的选型,并对关键机械部件的加工以及工艺特性进行了探讨,最后,对机械结构的一些关键器件进行了有限元强度分析,并最终加工完成了该弹性驱动器。本文还针对弹跳机器人腿部驱动装置中驱动元器件?直流伺服电机,设计了驱动电路以及编码器测量电路,其中驱动电路采用LM18245驱动芯片配以EPLD完成,编码器测量电路采用EPLD电路完成,最终加工完成了该电路。本文对驱动器的驱动特性进行了仿真分析,仿真分析主要完成了不同阻抗以及驱动带宽条件下驱动器的输出,用以提供驱动器在特定条件下所需的驱动参数。本文同时利用完成的弹性驱动器和相应驱动电路在DSpace平台上进行了驱动力输出实验,对其阻抗、带宽等进行了试验分析,实验结果表明,该驱动器可以稳定工作,但其特性偏软,带宽较低,这在后续工作中将通过改善弹性元器件性能及控制算法等方法加以完善。

关键词：弹性驱动器直流伺服电机带宽阻抗

基于DSP的离焦信号同步采集与处理技术研究

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基于DSP的离焦信号同步采集与处理技术研究

作者：王延超哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测系统为聚焦伺服系统提供聚焦误差信号,使写入光斑经过伺服控制后能够精确聚焦于光刻胶表面,从而保证刻蚀质量。本文基于差动像散法对激光直写... 详细信息

激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测系统为聚焦伺服系统提供聚焦误差信号,使写入光斑经过伺服控制后能够精确聚焦于光刻胶表面,从而保证刻蚀质量。本文基于差动像散法对激光直写系统中的离焦信号进行检测,针对原有采集系统存在的信号采集同步性差、实时性低的问题,提出了基于DSP的同步信号采集技术,由DSP控制CPLD同时触发四路AD采集信号,得到聚焦误差信号与离焦量的对应关系,实现离焦误差信号的多路同步、实时、高精度采集。本文基于TMS320LF2407A芯片实现了采集电路的软硬件设计。采集电路系统由DSP、CPLD、光电信号转换和放大、AD转换器、存储器和DA转换器等部分组成。重点介绍了采集电路的硬件设计和软件的实现,给出了相应的硬件原理图和软件流程图。在以上研究工作的基础上,搭建了光学实验平台并进行了实验测试,测试结果表明,该采集系统消除了激光光强不稳定等因素对聚焦误差信号的影响,提高了系统检测精度。

关键词：激光直写离焦检测同步采集聚焦误差信号

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基于小波变换的雷达信号采集与处理方法研究

基于小波变换的雷达信号采集与处理方法研究

作者：李淼哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

在末制导雷达对海试验及电子对抗试验中,雷达视频信号的采集、降噪、传输和记录是一个重要的组成部分。而目前以模拟方式对雷达信号进行的采集、降噪、传输和记录存在着降噪效果不好、存储数据量大的问题。针对上述问题,本设计利用FPGA... 详细信息

在末制导雷达对海试验及电子对抗试验中,雷达视频信号的采集、降噪、传输和记录是一个重要的组成部分。而目前以模拟方式对雷达信号进行的采集、降噪、传输和记录存在着降噪效果不好、存储数据量大的问题。针对上述问题,本设计利用FPGA和DSP芯片,结合小波理论,设计了一个数字化的雷达原始信号采集、处理和压缩系统,并对其进行了具体设计和讨论。设计主要包括三部分:雷达视频信号的采集、杂波抑制以及信号的压缩。在硬件结构上,设计采用适配器电路完成信号的采集,通过FPGA完成信号的简单预处理,利用DSP实现杂波抑制处理,而视频信号压缩由工控机来完成。本文在理论方法上主要涉及两个方面:对视频信号的杂波抑制,由于基于小波变换的杂波抑制方法对雷达信号的各种杂波都具有很好的抑制能力,在不损失目标分辨率的情况下,能有效地抑制雷达杂波的尖峰成份,通过仿真比对,设计选用了降样算法下尺度4的Haar小波进行杂波抑制,并给出了理论分析和试验仿真结果。对视频信号的压缩,采用小波变换和熵编码结合的方式予以实现。利用小波变换的高性能时频特性,可以较好的抑制高频噪声信号,降低数据的熵和能量对数,同时对回波信号的损失较小。设计选用Bior3.3小波进行小波分解和重构,通过熵编码确定的游码与原码相结合的方式,实现了雷达视频信号的压缩,并给出了雷达失真度分析和压缩比。通过上述方法,可以较好的实现末制导雷达在对海试验时视频信号的杂波降噪和压缩,更加有效的判读目标和长时间存储视频信号。

关键词：雷达视频信号数字信号处理小波变换熵编码

圆度/圆柱度仪用高精度差动电感传感器若干问题研究

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圆度/圆柱度仪用高精度差动电感传感器若干问题研究

作者：何俊和哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

测量技术已成为制约高精密加工发展的关键技术在航空航天，汽车，光学等领域，圆度/圆柱度仪均提供了有效地测量手段而电感传感器由于测量精度高，抗噪能力强，结构简单等优点而被应用在圆度/圆柱度仪中传感器的测量精度直接影响到圆度... 详细信息

测量技术已成为制约高精密加工发展的关键技术在航空航天，汽车，光学等领域，圆度/圆柱度仪均提供了有效地测量手段而电感传感器由于测量精度高，抗噪能力强，结构简单等优点而被应用在圆度/圆柱度仪中传感器的测量精度直接影响到圆度/圆柱度仪的测量结果因此对高精度传感器技术的研究成了极为重要的任务以此为背景，本文针对圆度/圆柱度仪用电感传感器进行了分析讨论，主要研究内容如下：首先，本文针对应用于圆度/圆度仪的差动结构电感传感器线圈进行了研究分析了差动线圈的质量对传感器的分辨力量程线性度等指标的影响针对传统线圈的均匀缠绕方法，介绍了一种新型的阶梯型线圈绕法由于差动线圈由两个线圈构成，本文还分析了两个线圈参数的不对称对传感器输出电压的影响同时还列举了几种简单的方法以消除这一影响其次，本文对传感器的静态特性和动态特性进行了研究传感器的静态特性和动态特性直接反映了一个传感器的性能同时在传感器的加工装配过程中无法避免地会引入误差，导致传感器的实际特性与理论特性具有一定的偏差针对这种偏差，本课题研究了相应的补偿方法通过对传感器特性的补偿，可以提高传感器在实际测量过程中的测量精度传感器动态模型的分析和建立是传感器特性补偿的基础，同时考虑到在模型建立过程中不可避免的简化和近似这一问题，本文讨论了建模误差对传感器动态补偿效果的影响再次，本文针对传感器信号处理部分进行了优化设计在这一部分，主要针对滤波器稳定性电路板优化设计以及传感器信号处理过程中整体的信号处理流程等做了讨论在此基础上对之前开发的采集卡做了相应的改进，并对改进前后两个版本的采集卡进行了实际效果的比对最后是实验部分在实验过程中验证了传感器的静态特性和动态特性实验表明在传感器量程为460μm时，分辨力达到了15nm，而传感器量程为70μm时，分辨力则达到了5nm可以满足圆度/圆柱度仪高精度测量的要求实验过程中同样验证了传感器系统动态特性的补偿效果补偿后传感器系统的响应频率由312Hz达到了381Hz缩短了圆度/圆柱度仪在相同条件下的测量时间

关键词：电感传感器差动线圈动态特性信号处理

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双频激光干涉仪非线性误差测量技术研究

双频激光干涉仪非线性误差测量技术研究

作者：孙志猛哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

双频激光干涉测量技术由于非接触、精度高、可溯源等优点，被广泛应用于量规检定、车床校准以及纳米传感器标定等超精密测量领域，但由于外差干涉测量系统自身固有的光学非线性误差，其测量分辨力和精度的进一步提高受到严重制约。光学... 详细信息

双频激光干涉测量技术由于非接触、精度高、可溯源等优点，被广泛应用于量规检定、车床校准以及纳米传感器标定等超精密测量领域，但由于外差干涉测量系统自身固有的光学非线性误差，其测量分辨力和精度的进一步提高受到严重制约。光学非线性误差的检测技术是光学非线性误差补偿或消除的关键前提，对于实现纳米量级的测量精度具有重要实际应用意义，也是当前双频激光干涉测量技术研究的热点和难点之一。本文深入分析了国内外双频激光干涉仪光学非线性误差检测技术的研究现状，阐述了现有研究方法的测量原理和技术特点，总结了其存在的优点和缺点，并针对现有方法存在的测量装置庞大、成本过高、只能进行静态或准静态的不足，研究了一种基于双光电探测和IQ解调相位检测的光学非线性误差测量方法，并建立了相应的实验测量平台，进行了实验验证。本课题主要完成的工作如下：阐述了外差激光干涉测量中光学非线性误差的数学模型[26]及其计算公式，该模型从双频激光干涉仪测量光路和参考光路中的光学频率混叠现象出发，推导了光学频率混叠情形下双频激光干涉仪测量信号与频率混叠参数的函数关系，并与标准测量信号相比较，进一步导出了光学非线性误差的计算公式，揭示了光学非线性误差的变化规律，为本文光学非线性误差实时检测方法的提出奠定了理论基础;研究了基于双光电探测技术的外差干涉光学非线性误差实时检测的原理模型[19-22]，该模型利用偏振分光镜将双频激光干涉仪的输出光信号分离成两部分，并采用两个对称的光电探测器分别进行信号检测而获得两路同频率的测量信号，根据本文建立的光学非线性误差模型和公式对两路测量信号进行分析，其非线性相位大小相等且符号相反，则可通过对二者相位求差而获得测量系统的光学非线性误差，从而建立了基于双光电探测的外差干涉光学非线性误差实时检测原理模型，据此本文还构建了光学非线性误差实时检测实验平台的光学系统;研究了基于IQ解调测相原理的光学非线性误差实时检测数据处理技术，该技术将两个光电探测器的输出信号分别输入IQ调制电路，将每一路测量信号转变为两路正交的低频正弦信号，并由高速AD采集电路对正交信号进行采样，进而通过反正切运算而分别获得两路测量信号与IQ调制电路本振信号的相位差值，二者之差即为两测量信号的相位差，亦即外差干涉测量系统的光学非线性相位误差，根据该技术本文研制了光学非线性误差实时检测实验平台的电学系统及上位机用户软件程序;在上述理论分析和技术研究的基础上，本文设计和研制了外差激光干涉测量光学非线性误差检测实验平台，并进行了试验测试和验证。试验表明，相位检测单元的相位差测量不确定度为0.07°，非线性误差测量不确定度为0.15°。

关键词：双频激光干涉仪光学非线性误差双光电探测 IQ解调测相

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激光自准直中的数字滤波技术研究

激光自准直中的数字滤波技术研究

作者：朱凡哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

利用激光光束直线基准进行自准直角度测量具有测量精度高、测量距离远等优点。在实际应用中,激光光束用于高精度自准直小角度测量时,却由于光束的漂移使角度测量的精度及稳定性难以进一步提高。因此,抑制激光光束漂移,改善其方向稳定性... 详细信息

利用激光光束直线基准进行自准直角度测量具有测量精度高、测量距离远等优点。在实际应用中,激光光束用于高精度自准直小角度测量时,却由于光束的漂移使角度测量的精度及稳定性难以进一步提高。因此,抑制激光光束漂移,改善其方向稳定性是激光自准直小角度测量中亟待解决的问题。本文在激光自准直光束漂移量靶标反馈控制技术的基础上,提高光束漂移量检测电路的探测精度,对漂移量信号频谱进行分析,从信号噪声扰动抑制与衰减的角度,对反馈系统中的数字滤波技术进行研究,研制基于FPGA和DSP的漂移量信号采集、处理及控制电路,对光束的漂移量进行实时处理。具体内容包括:(1)根据课题的要求改进光电检测电路,提高漂移量检测的信噪比;研制基于FPGA和DSP的光束漂移信号采集及处理电路板,实现光束漂移信号的同步采集、滤波及PID运算并输出;(2)讨论激光自准直测量中光束漂移的影响程度,对采集的光束漂移信号进行频谱分析,确定漂移信号及噪声的频谱分布,为滤波器的设计提供依据;(3)针对采集的光束漂移信号中的特定频率干扰,选择数字陷波器对其进行滤波。比较不同方法设计的IIR陷波器的性能,讨论了滤波器系数量化效应的影响,根据系统特定频率噪声的具体数值,给出滤波器的系数并进行实验仿真;(4)针对漂移信号中的随机噪声干扰,采用时间序列分析对光束漂移信号建模,利用所建立的模型设计Kalman滤波器滤除测量中的随机噪声。通过在线辨识ARMA模型参数判断测量中是否出现粗值点并予以剔除,引入强跟踪滤波算法改善Kalman滤波器对突变信号的跟踪能力,提高滤波精度;(5)对漂移量检测系统的分辨力进行测试,比较加入滤波器前后光束漂移量探测分辨力的变化。实验表明,采用本文的滤波器后光束漂移量检测的分辨力由之前的0.016″提高到0.0050″,说明本课题采用的数字滤波技术能很好地降低漂移量反馈信号的噪声,提高光束漂移量探测的分辨力。

关键词：光束漂移自准直 IIR数字陷波器 Kalman滤波器